催化燃烧设备是由热交换器、催化反应设备、燃烧室、热回收系统和烟气排放系统等部件组成，催化燃烧设备的工艺流程可以分为吸附式、预热式和热平衡式三种。

1，吸附脱附式。处理大流量、低浓度、低温度的有机废气通常采用吸附的方式将废气吸附到活性炭吸附剂里面进行浓缩，再通过热空气吹扫，使其脱附变成浓度较高的气体后再进行燃烧分解，活性炭吸附催化燃烧设备不需要额外的补充热量可以正常的工作。

2，预热式。一般所采用的预热方式主要有煤气或电加热，把废气升温到催化反应所需要的起燃温度，从而达到燃烧氧化分解的目的，催化燃烧设备燃烧氧化后的气体在热交换器内和没有处理的废气进行热交换，从而可以回收部分的热量。

3，热平衡式。催化燃烧设备的燃烧室中，用电加热器供起起燃，然后再由交换器进行回收部分净化过的气体所产生的热量，这种工艺就是热平衡式，好处是不需要额外补充热量。